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第415章 暗室微光（第1页）

江州，江钢老厂区，墨子实验室。死寂。比之前的失败更令人绝望的死寂。实验室中央，那台价值昂贵的日立扫描电子显微镜屏幕上，显示着冰冷的“servicelocked”（服务锁定）。这是厂商通过远程固件升级，强制锁死了设备的核心功能。旁边的k暗场缺陷检测仪，同样处于瘫痪状态。赵博士手里拿着一片刚刚显影出来的晶圆，手在微微颤抖。“林董，我们……我们现在是瞎子。”“我们刚刚试制了第107号配方。理论上，这次我们用电解抛光的不锈钢桶解决了金属离子污染问题。但是……”赵博士指着那片晶圆，声音带着哭腔：“我们看不见上面的图形。”“光刻胶的线宽只有40纳米。肉眼看不见，光学显微镜看不见。没有se，我们根本不知道线条是直的还是弯的，不知道侧壁有没有坍塌，不知道沟槽里有没有残留。”“我们连是成是败都不知道，怎么优化？”这就好比蒙着眼睛雕刻大米，你甚至不知道自己刻的是字还是划痕。王海冰站在一旁，脸色铁青：“我联系了国内的几家检测设备厂，他们的精度只能做到90纳米，对于arf浸没式光刻胶的验证，完全不够用。”检测设备的缺失，直接切断了研发的反馈闭环。林远看着那台被锁死的显微镜，目光幽深。“物理的眼睛瞎了。”“那我们就用……数学的眼睛。”林远没有废话，直接拿起了电话。“汪韬，带上你的人，还有盘古视觉大模型，马上来江钢。”“另外，让汉斯把他在德国的光学实验室团队也拉进视频会议。”一小时后，临时作战室。林远在白板上画了一个激光照射晶圆的示意图。“我们没有电子显微镜，没法直接看到微观结构。”“但是，我们有激光。”“当激光照射到晶圆表面那些微小的电路结构时，会发生衍射和散射。”“这些散射光，虽然看起来是一团乱麻，但它包含了表面结构的所有信息。”林远看向汪韬和汉斯。“我要你们做一套光学散射测量系统。”“硬件不需要复杂的透镜。只需要一个高精度的激光光源，和一个能捕捉散射光斑的d传感器。这个我们自己能搭出来。”“软件这才是核心。”“汪总，我要你用盘古模型，去解麦克斯韦方程组的逆问题。”“即：根据接收到的散射光斑，反向推算出晶圆表面的三维形貌。”“这在数学上叫相位恢复。”汪韬推了推眼镜，眼中闪过一丝狂热，但也有一丝犹豫。“理论上可行。这叫计算成像。但是，计算量是天文数字。”“要从一堆杂乱的光斑里，猜出纳米级的结构，每一次测量，都需要进行数亿次的迭代运算。”“按照现在的算力，检测一片晶圆，可能需要一个月。”“太慢了。”王海冰摇头，“产线等不起。”“那就用库。”汉斯突然开口。“我们可以预先建立一个庞大的散射特征库。”汉斯解释道，“我们模拟出千万种可能的光刻胶缺陷形态，如倒塌、桥接、驻波，然后计算出它们对应的散射光斑。”“当实际测量时，我们不需要实时解方程。”“我们只需要把测到的光斑，去和数据库里的样本进行指纹比对！”“这就变成了ai图像识别问题。”“这个我在行！”汪韬猛地一拍大腿，“用盘古做特征匹配，毫秒级就能出结果！”“但这需要海量的训练数据。”“数据我有。”林远从公文包里拿出一个硬盘，“这是我们之前在asl做测试时，偷偷保存下来的，几百万张缺陷扫描图和对应的散射数据。”“那是我们的种子。”疯狂的盲人摸象。方案确定，立刻执行。这是一套极其简陋，却又极其科幻的检测系统。没有昂贵的镜头，没有真空腔体。只有一个暗盒，一束激光和一个连接着青川智算中心的数据线。“第108号样品，上机。”激光打在晶圆上，反射出一圈圈迷离的光晕。数据疯狂上传。青川，数千张gpu卡全速运转，在浩瀚的数据库中寻找匹配的指纹。五分钟后。屏幕上，不再是模糊的照片，而是一个由计算机生成的3d模型。模型清晰地显示：光刻胶的线条边缘，出现了锯齿状的“驻波效应”。“看清了！”赵博士激动得跳了起来，“是驻波！是因为底部抗反射涂层的折射率没调好！”“调整barc配方！折射率增加002！再试！”虽然这套系统的精度约2纳米不如se，速度也慢，但它让墨子团队，终于在黑暗中，看到了一丝微光。，！闭环，重新接通了。解决了看的问题，接下来是更难的造的问题。江钢集团，焦化厂，精制车间。这里是江钢最脏、最臭的地方。黑色的煤焦油在巨大的管道中流淌，空气中充满了硫化氢和苯的味道。谁能想到，纳米级光刻胶的源头，竟然是这一堆黑乎乎的粘稠液体。林远穿着厚重的防护服，站在一座高达60米的巨大精馏塔前。孙大炮指着这座刚刚改造完成的巨塔，声音在防毒面具后显得有些闷。“主任，这是我们按您的要求，用316l电解抛光不锈钢重新焊的超级精馏塔。”“塔高68米，内部填充了相当于200层楼高的规整填料。”“我们的目标，是从煤焦油里，提炼出纯度达到999999（6n）的间甲酚。”间甲酚，是合成光刻胶树脂的核心单体。日本信越化学，就是靠着对这种单体提纯技术的绝对垄断，卡住了全世界的脖子。“现在的纯度是多少？”林远问。“999（3n）。”孙大炮无奈地摇摇头，“这已经是工业级的极限了。再往上提，每提高一个9，难度就是指数级上升。”“主要杂质是什么？”“同分异构体，对甲酚。”孙大炮解释道：“间甲酚和对甲酚，沸点只差03度！在普通的精馏塔里，它们根本分不开，就像水和奶混在一起一样。”“日本人是用结晶法分离的，那是他们的核心机密，我们搞不到。”03度的沸点差。这就是横亘在中国光刻胶产业面前的，一道天堑。“不能用结晶法，那就死磕共沸精馏。”汉斯走了过来，手里拿着一张复杂的化工流程图。“林，孙，德国人在二战时期缺油，就是靠煤化工活下来的。我们有经验。”“03度分不开，那就加第三者。”“我们往里面加一种特殊的夹带剂。这种剂只喜欢跟对甲酚结合，形成共沸物，把它的沸点拉低5度。”“这样，沸点差就扩大到了5度。精馏塔就能分开了。”“什么夹带剂？”孙大炮问。“这需要试。”汉斯耸耸肩，“可能是乙二醇，可能是尿素，也可能是某种复杂的有机胺。”“我们用盘古来试。”林远再次祭出了ai。“汪总，把已知的2万种化工溶剂的分子式输入模型。模拟它们与甲酚的分子间作用力。”“筛选出最可能的100种夹带剂。”“然后，孙总，你的任务就是烧。”“在实验室里，用这100种剂，没日没夜地烧！直到试出来为止！”这是一场暴力穷举的化学实验。没有捷径，只有试错。接下来的一个月，江钢焦化厂的灯光，彻夜未熄。爆炸、泄漏、中毒……实验并不顺利。好几次，因为反应釜压力过大，差点把实验室掀翻。但没人退缩。孙大炮直接把铺盖卷搬到了车间门口。“老子就不信了，炼钢能炼出花来，炼个油还能被尿憋死？”第83次实验。失败。纯度9995。第156次实验。失败。纯度9999。第214次实验。时间已经到了最后期限。国内晶圆厂的显影液库存，只剩下最后三天。中芯国际的老总已经把电话打到了郑宏图书记那里，请求国家出面协调进口。压力，全部压在了林远身上。这天凌晨。汉斯突然冲进了林远的办公室，手里举着一个小小的玻璃瓶。瓶子里，是一种无色、透明、散发着淡淡杏仁味的液体。“林！成功了！”“我们用乙二胺+特制分子筛的组合，成功把沸点差拉大到了8度！”“这是刚刚出来的色谱分析报告。”林远接过报告，目光直接落在了最后一行。纯度：99（6n）。金属离子：＜5ppb。“合格了！”林远的手，微微颤抖。这瓶看似普通的液体，是中国半导体材料史上的一座丰碑。它意味着，我们终于打破了日本对高纯单体长达三十年的垄断。有了高纯单体，“墨子材料”的配方终于发挥了威力。再加上“计算成像”检测系统的辅助，光刻胶的良率开始爬坡。30……60……85……一周后。第一批500公斤国产arf浸没式光刻胶，连同配套的显影液，被紧急运往了中芯国际的生产线。上机测试。曝光，显影，刻蚀。当最终的良率报告出来时，中芯的总工沉默了。良率：992。这不仅达到了日本货的水平，甚至在某些关键层，如多晶硅栅的刻蚀选择比上，超过了日本jsr的产品！为什么？小主，这个章节后面还有哦，，后面更精彩！因为这是“定制化”的。日本人的胶是通用的，而林远的胶，是根据国内光刻机的特定光源参数，用ai进行过分子级适配的。这就是全产业链闭环的威力。江州。林远看着那一桶桶正在装车的国产光刻胶，脸上并没有太多喜色。他知道，萧若冰不会就这样认输。材料战，她输了。但她手里还有最后一张，也是最恶心的一张牌专利。“老板，”顾盼走了过来，神色凝重。“刚刚收到律师函。”“信越化学和jsr，联合在海牙国际法庭和美国itc，对墨子材料和江南之芯提起了专利诉讼。”“他们指控我们的光刻胶树脂结构，侵犯了他们第jp-2015-xxxx号基础专利。”“那是保护基团的化学结构专利。”“只要我们用了这种化学键，就是侵权。”“他们要求全球禁售，并赔偿50亿美金。”林远接过律师函，看了一眼那复杂的分子式结构图。“保护基团？”林远冷笑一声。“他们以为，化学结构只有这一种写法吗？”他看向旁边的李振声教授和汉斯。“启动分子异构计划。”“用我们的盘古大模型，去计算出一种，化学性质完全相同，但分子结构完全不同的全新保护基团！”“我们要用ai，去绕开他们的专利墙。”“不仅要绕开。”林远眼中闪过一丝狠厉。“我们还要把这种新结构，申请成专利！”“然后，反过来，去告他们术落后！”：（）官道红颜：她们助我一路升迁